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Kapazitiver Positionssensor für Subnanometermessung

Überwinden Sie die Nanometer-Auflösungsbarriere - erreichen Sie eine Auflösung von unter einem Nanometer mit schneller Reaktion - bis zu 100 kHz Bandbreite!

Der hochauflösende kapazitive Sensor Modell 6810 bietet modernste Leistung für die Positions- und Wegmessung. Der 6810 wurde speziell für die "hochdynamische" Messung von drehenden oder oszillierenden Zielen mit hoher Geschwindigkeit entwickelt, wie beispielsweise Präzisionsspindelmotoren für Festplattenlaufwerke, Präzisionsluftlagerspindeln und mechanisch gelagerte Werkzeugmaschinenspindeln. Zu den Anwendungen zählen Rundlaufmessungen wie axialer und radialer NRRO (nicht wiederholbarer Rundlauf oder asynchroner Fehlerlauf), die eine Auflösung von 1 bis 2 nm-rms oder besser erfordern.

Eigenschaften

  • Zieloberflächenbeschaffenheit oder Reflektivität haben keinen Einfluss auf die Messleistung
  • Vollständig berührungsloses Design
  • Fortschrittliches geräuscharmes Design für Messauflösung im Sub-Nanometer-Bereich
  • Hohe Messbandbreite - 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz und 100 kHz wählbar
  • Derzeitige Benutzer des Modells 5810 können die Messleistung sofort verbessern. Der 6810 ist ein elektrisch kompatibler Ersatz für Benutzer, die ein Upgrade von vorhandenen 5810-Systemen durchführen möchten. Es sind keine Designänderungen erforderlich.