Waferhandling in der Halbleiterindustrie mit Motion Controller

Beispiele für den Produkteinsatzort

3D-Druck

3D-Drucker mit Motion Controller ansteuern

Mit den 3D-Druckern eröffnet sich für die Motion Controller ein weiteres Einsatzgebiet. Koordinierte Bewegungsabläufe mit Kreis- oder Linearinterpolation und präzise Positionsregelung mehrerer Achsen sind die anspruchsvollsten Aufgaben. Was nun durch den Raum bewegt wird, das ist beliebig.

Bei Messmaschinen ist es der Messtaster, bei den 3D-Druckern die Düse, welche den Materialausstoß regelt. Letzteres kann mit einem Motion Controller ebenfalls gesteuert werden und, falls erforderlich, auch die Temperaturregelung um den Plastikstrang zu schmelzen.

Bei sehr komplexen Figuren erfolgt eine Bahnberechnung auf dem Computer. Einzelne Bahnsegmente arbeitet der Motion Controller nach dem FIFO-Prinzip ab. Ein Puffer in der Steuerung sorgt dafür, dass es nicht zu ungewollten Unterbrechungen kommt.

Laborautomation

Bild zu Laborautomation

Auch hier ist die Hauptaufgabe die Bewegungssteuerung der einzelnen Antriebsachsen, um 100, 1.000 oder mehr Reagenzgläser zu transportieren. Motion Controller führen Arbeitsschritte immer wieder mit geforderter Präzision durch. Durch die erreichte Automatisierung wird ein gesamter Prozess zuverlässig durchgeführt und gleichzeitig wird die Dokumentation erstellt. Eine lückenlose Nachvollziehbarkeit einzelner Arbeitsschritte ist also gewährleistet.

Neben der Bereitstellung von Motion Controller und Antriebsachsen, sind die Überwachung von Sensoren und das Stellen von Aktuatoren und Ventilen gefordert. Diese Aufgabe ist mit einer weiteren Komponente, dem PLC, gelöst. Motion Controller und PLC kommunizieren über Ethernet miteinander.

Medizintechnik

Langlebige Pumpenantriebe in der Medizintechnik

Höchste Zuverlässigkeit erzielen unsere Produkte in der Medizintechnik, wie in Herz-Lungen-Maschinen, Blutpumpen oder anderen Maschinen zur Lebenserhaltung. Speziellen Anforderungen, wie in der Elektronenstrahlmikroskopie, entsprechen wir ebenfalls.

Glasfasertechnik

Automatisches Ausrichten von Glasfasern

Glasfaser und Lichtwellenleiter werden im Nanometerbereich positioniert. Das sind höchste Anforderungen an die Antriebstechnik, konkret die Positionserfassung, Positionierung und den Antrieb.

Mit einem Direktantrieb entfallen Spindel, Getriebe und einige Lager als Störquelle. Dann folgt die individuelle Anpassung des Motors an das Bewegungsprofil sowie ein hohe Polzahl. Zuletzt ist noch die herkömmliche Lagerung durch eine Luftlagerung zu ersetzen.

Optikmaschinen

Anwendung Spindelantrieb

Wir liefern Servomotoren und Voice Coil Aktuatren für Spindeln und Zustellachsen in Optikmaschinen. Hohe Beschleunigungen und ruhiger Lauf, auch bei niedrigen Geschwindigkeiten, sind hier ausschlaggebend.

Die Antriebsachsen positioniert und koordiniert ein digitaler Motion Controller. Das gewährleistet schnelle sowie exakte Lageregelungen mehrerer Achsen und Interpolation der 3 Hauptachsen. Das Resulat: Erstklassige Bearbeitungsergebnisse bei der Herstellung von Optiken.

Sondermaschinenbau

Anwendungsbeispiel Sondermaschinenbau

Einsatz und Integration unserer Produkte, z.B. Messsysteme, in anspruchsvollen Maschinenkonstruktionen. Verbesserung der Konstruktion durch Verschmelzung von Maschinenbauteil und Antriebstechnik.

Robotik

Motion Controller steuern die Achsen eines Robotors

Wenn Sie einen Roboter herstellen, benötigen Sie Servoantriebe. Aufgrund des sehr beschränkten Bauraums eignen sich hierfür Bausätze für Motoren. Das bedeutet, Rotor und Stator sind entsprechend dem Bauraum und dem Anforderungsprofil ausgelegt. Da jede Anwendung anderes ist, ist auch jeder Antrieb anders.

Obwohl unsere Produkte hinter den Kulissen agieren, sind Sie möglicherweise mit den Robotern vertraut, in denen sie arbeiten. Unsere Servoantriebe befinden sich in Lagerautomationsrobotern für große Einzelhändler, in verschreibungspflichtigen Fulfillment-Robotern in Apotheken in Ihrer Nähe, in Operationssälen von Krankenhäusern, einschließlich eines von der FDA zugelassenen Operationsroboters und stehen in Fabriken auf der ganzen Welt.

Wissenschaft und Forschung

Motion Controller im Thirty Meter Teleskop

Eines der jüngsten Projekte, bei dem Galils Motion Controller und Verstärker der neuesten Generation zum Einsatz kommen, ist das 30 Meter Teleskop.

Das Thirty Meter Telescope (TMT) https://www.tmt.org/ soll in der Nähe des Gipfels von Maunakea auf Hawaii Island gebaut werden und wird zu den größten optischen Teleskopen der Welt gehören, wenn gegen Ende des nächsten Jahrzehnts die ersten Bilder aufgenommen werden.

Mit einem innovativen Design, das erstmals bei den Teleskopen Keck I und Keck II verwendet wurde, besteht der Haupt-(Primär-)Spiegel des TMT aus 492 sechseckigen Spiegelsegmenten, die jeweils fast 1,5 Meter breit sind. Hier finden Sie den vollständigen Bericht:

Semiconductor

Motion Controller bewegen Wafer in der Halbleitertechnik
Im Reinraum bewegen Sie Wafer präzise mit einem Motion Controller.

Koordinierung von Mehrachsbewegungen, Bonding, Scannen und Positionieren von Wafer, CD und DVD. Unsere Kunden profitieren von optimierter Antriebstechnik: Mal hochgenau, mal hochdynamisch, mal beides.

Vibration und Dämpfung

Anwendung Schwingungsdämpfung Voice-Coil

Voice Coil Aktuatoren bieten eine große Bandbreite für industrielle Anwendungen für Vibration oder Dämpfung. Der Voice Coil dient hier als Quelle der Vibration.

Im umgekehrten Fall ist unser Voice Coil in der Lage ungewünschte Vibrationen zu kompensieren, durch die das System beeinträchtigt wird. Der Voice Coil erzeugt eine präzise geregelte Vibration, um störende Einflüsse als aktive Dämpfung zu neutralisieren und zu reduzieren.

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