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Ein sehr kleiner kapazitiver Positionssensor

Kapazitätssensoren von MicroSense werden in einer Vielzahl von Anwendungen zur Steuerung der Brennebene oder zum Nullstellen in atmosphärischen und Vakuumumgebungen eingesetzt. Typischerweise erfordern diese Anwendungen, dass die Systemoptik relativ zu einem zu inspizierenden Teil im Mikrometer- oder Submikronbereich wiederholt positioniert werden muss, während das zu inspizierende Teil schnell unter der Systemoptik bewegt wird.

Empfohlene Produkte

Demodulator

Sensor-Serie

Anwendung

Model 6810

2800er

Positionssensor für Regelung der Fokalebene

Model 8810

2800er

Hochauflösender Sensor für Positionsregelung der Fokalebene