Unter den Messsystemen für Auslenkungsmessung, sind erreichen nur die kapazitiven Sensoren eine Auflösung die vergleichbar mit der eines Interferometers ist. Da die Sensoren berührungslos messen, beeinflussen sie nicht das Objekt durch Kontakt oder Gewicht. Typische Anwendungen sind:
Kapazitive Sensoren ermöglichen eine direkte Messung von Geradheit und Planheit von hochpräzisen Fertigungsmaschinen und Tischen. Vorteilhaft ist, dass dies ohne Fehler möglich ist, wie es bei einer Messung mit Laserinterferometer vorkommt.
Demodulator | Sensor-Serie | Anwendung |
|---|---|---|
Model 4810 | 2800er | Messen von Auslenkung bei guter Stabilität |
Model 8810 | 2800er | Messen von Auslenkung bei guter Stabilität; Test von Präzisionstischen |