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Ein sehr kleiner kapazitiver Positionssensor

Der MicroSense Mini ist ein kompakter, hochauflösender linearer Wegsensor, der speziell für die Rückmeldung von Servosystemen konzipiert wurde, insbesondere für OEM-Anwendungen.

Dieser präzise lineare Positionssensor verfügt über eine Auflösung im Nanometerbereich über einen Messbereich bis zu einem Millimeter. Der Mini ist ideal für präzise Positionieranwendungen mit kurzer Verfahrbewegung - er liefert Positionsrückmeldungen in Mechanismen wie piezo-angetriebenen Positioniertischen, Mikroaktoren und Rastersondenmikroskop-Tischen. Der MicroSense Mini basiert auf einer fortschrittlichen kapazitiven Sensortechnologie und verwendet jede geerdete, leitfähige Oberfläche als Ziel. Es ist keine lineare Skala oder Spiegel erforderlich, wodurch das bewegte Ziel direkt gemessen wird.

Eigenschaften

  • Nanometerauflösung für Präzisionsstufen über Bereiche bis 200 µm
  • Hohe Genauigkeit, schnelle Reaktion - 0,02% Linearität des Skalenendwerts ist typisch, ohne zyklischen Fehler oder Hysterese
  • Funktioniert mit jedem leitfähigen Ziel, Material oder Oberflächen haben keinen Einfluss auf die Genauigkeit
  • Misst das Ziel direkt mit superkleinen Sensorköpfen, wodurch Abbé-Versatzfehler vermieden werden
  • Einfache Installation - Der Sensorkopf wird in einem einfachen Präzisionsloch montiert
  • Serieller Kommunikationsanschluss für die Kalibrierung in der Maschine

Konfiguration

  • Der MicroSense Mini besteht aus einem kompakten Elektronikmodul (Demodulator) mit Stromanschlüssen, analogem Sensorausgang und einer seriellen Schnittstelle
  • Der Sensorkopf, der das Ziel erkennt, ist über ein 1,5 Meter langes Kabel mit dem Elektronikmodul verbunden
  • Es stehen verschiedene Sensorgrößen zur Verfügung - die Sensorgröße wird durch den Messbereich und die erforderliche Auflösung bestimmt
  • Optional ist eine geräuscharme isolierte Stromversorgung erhältlich