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Ein sehr kleiner kapazitiver Positionssensor

Berührungslose Präzisionskapazitätssensoren verfügen über kleine Sensorköpfe mit geringer Masse und eine schnelle Reaktionszeit. Sie eignen sich daher gut für die Messung von Schwingungen in einer Vielzahl von Hochleistungsmaschinen, einschließlich Präzisions-X-Y-Stufen, Werkzeugmaschinen, Hochgeschwindigkeitsdruckgeräten und Geräten zur Herstellung von Halbleitern.

  • Ideal für Schwingungsmessanwendungen, bei denen der Einsatz eines Beschleunigungsmessers nicht möglich oder sinnvoll ist.
  • Für Präzisionsstufen, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden, ist es möglich, die Vibration des Stufenstapels in der Waferebene zu messen, ohne der Waferhalterung Masse hinzuzufügen.
  • Zur berührungslosen Messung von strukturellen Schwingungen in Präzisionsabtaststufen zur Bestimmung der vertikalen Schwingungen in Bezug auf die Systemoptik. Dies bietet dem Konstrukteur ein leistungsfähiges Diagnosewerkzeug zur Bewertung der strukturellen Steifigkeit von Scansystemen.
  • Kapazitive Sensoren liefern eine Rückmeldung des Servosystems für aktive Schwingungsisolationssysteme mit hoher Leistung.

Empfohlene Produkte

Demodulator

Sensor-Serie

Anwendung

Model 8810

2800er

Vibrationsmessung bis zu einer Bandbreite von 20 KHz

Model 6810

6000er

Vibrationsmessung bis zu einer Bandbreite von 100 KHz