Mit kapazitiven Sensoren ist es möglich über kurze Entfernungen im Nanometer Auflösungsbereich zu arbeiten. Der Sensor benutzt die Struktur des Messpunkts und ist daher kompakter als ein Linearencoder. Die Kosten für kapazitive Sensoren betragen im Subnanometer Bereich nur einen Bruchteil der für Interferometer anfallenden.
Kapazitive Sensoren von MS sind ideale Rückführungssysteme für Nanopositionierungen mit Piezo- oder Voicecoil Motore. Sie können als Rückführungssensor im Regelkreis oder als unabhängiger Lagesensor wirken. In der Nanopositionierer sind typischerweise mit 1 – 3 Achsen ausgestatte, die über einige hundert Micrometer pro Achse verfahren. Meist sind sie mit Dehnungsbändern konstruiert, die aus soliden Metallblöcken heraus gefräst werden. Dadurch erreicht man sehr saubere Bewegungen. Als Aktuatoren kommen Pieomotoren oder Voice Coils in Betracht.
Fast Tool Servo-Systeme werden in einer Vielzahl von Bearbeitungsanwendungen eingesetzt, um nicht rotationssymmetrische Oberflächen zu bearbeiten und verschiedene Oberflächenstrukturen zu erzeugen. Ein schnelles Werkzeugservo ist ein Werkzeughaltermodul mit einem Hochleistungslinearaktuator, der das Werkzeug bei einer bestimmten Bandbreite oszilliert. Kapazitätssensoren von MicroSense, die zur Rückmeldung des Servosystems verwendet werden, bieten sowohl die hohe Bandbreite als auch die hohe Auflösung, die für schnelle Werkzeugservoanwendungen erforderlich ist. Unser Modell 8810 ist mit Bandbreiten bis 20 KHz erhältlich.
Demodulator | Sensor-Serie | Anwendung |
|---|---|---|
Model 4810 | 2800er | Rückführungssignal für Positionierung im Nanometerbereich (Servoregelkreis) |
Model 8810 | 2800er | Rückführungssignal für Positionierung im Nanometerbereich (Servoregelkreis) |
Model 8810, 20 KHz Version | 2800er | Fast tool servo |
Model 6810 | 6000er | Positionierung mit sehr hoher Auflösung |