Fokalebene, Autofokussierung und Nullung

Kapazitätssensoren von MicroSense werden in einer Vielzahl von Anwendungen zur Steuerung der Brennebene oder zum Nullstellen in atmosphärischen und Vakuumumgebungen eingesetzt. Typischerweise erfordern diese Anwendungen, dass die Systemoptik relativ zu einem zu inspizierenden Teil im Mikrometer- oder Submikronbereich wiederholt positioniert werden muss, während das zu inspizierende Teil schnell unter der Systemoptik bewegt wird.