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Ein sehr kleiner kapazitiver Positionssensor

Berührungslose kapazitive Sensoren sind ideal für lineare Messungen, lineare Positionsmessungen und lineare Abstandsmessung. Die Sensoren erlauben sehr genaue Messungen mit hoher Bandbreite und werden unter anderem bei Anwendungen wie Festplattenlaufwerken, luftgelagerte Spindeln, Präzisions-Kreuztische, optische Scheiben, Kfz-Teile und Werkzeugmaschinen eingesetzt. Mit einer Auflösung von weniger als 0,05 nm und einer nahezu unbegrenzten Lebensdauer zählen sie zu den leistungsstärksten Sensoren.

Merkmale

  • Berührungslose kapazitive Messung
  • Leitendes, geerdetes Zielobjekt (Sensoren für nicht leitende Materialen verfügbar)
  • Messabstand von ±10 μm bis ±1000 μm (maximal 25 mm möglich)
  • Messauflösung von < 1 nm bis 50 nm
  • Analog Ist-Wert-Signal von ±10 V (andere Spannungsbereiche optional)
  • Linearität von 0,02 % über gesamten Messbereich
  • Stabilität von bis zu 1 nm pro Tag möglich
  • Messbandbreite von 10 kHz bis 100 kHz
  • Sensoren auch für UHV- bzw. nicht-magnetische Umgebungen erhältlich

Anwendungsbeispiele

  • Berührungslose und nicht zerstörende kapazitive Messungen im Pikometerbereich
  • Kontaktlose Messung der Dicke von Teilen
  • Messung von Geschwindigkeit, Beschleunigung, Flattern und Verspannung
  • Messungen im Vakuum