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mit Piezomotor

Ein FB-Tisch-Design enthält einen Piezo-Antrieb, ein Kreuzkugellager und einen optischen Encoder. Mehrere Tische sind zu einem System konfigurierbar:
Verschiedene Verfahrlängen und Tischbreiten können zu XY, XYZ oder anderen Mehrachsanwendungen konfiguriert werden. Für eine rotative Bewegung ist das System mit einem Dreh-Tisch erweiterbar. Ebenso ist die Encoderauflösung und der Motortyp wählbar. Für Vakuumanwendungen ist das Piezo-System entsprechend als Vakuumausführung zu bestellen.

Merkmale

  • kompaktes Tisch-Design mit niedriger Bauhöhe
  • Direktantrieb mit einfacher und robuster Konstruktion
  • für die optimale Positionierung befindet sich der Encoder in der Mitte
  • einfache Konfiguration für mehrere Achsen
  • Auswahlmöglichkeit bei Tischgröße, Verfahrweg und Motorleistung

Verfügbare Montage

  • XY
  • XZ mit Verbindungswinkel
  • XYZ mit Verbindungswinkel
  • Drehtisch
  • Goniometer

Encoder

  • Standardauflösung 0,1 µm
  • Optionale Auflösung: 1 µm, 0,5 µm, 50 nm, 10 nm
  • Optional Endschalter und Home-Schalter (FB050 nur Home)

Tisch-Konfiguration

 

Breite [mm]

Motorauswahl

Verfahrweg (Standard)

FB050

50

HR2 oder HR4

20 mm, 50 mm, 75 mm

FB075

75

HR4 oder HR8

40 mm, 60 mm, 100 mm, 150 mm

FB100

100

HR4 oder HR8

60 mm, 100 mm, 150 mm *

FB150

150

HR4 oder HR8

100 mm, 150 mm, 200 mm *

Leistungsspezifikation

 

FB050

FB075

FB100

FB150

Geradheit / Planheit

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

1,5 µm/25 mm Verfahrweg

Max. Last [kg]

       

20 mm Weg

2

     

40 mm Weg

 

5

   

50 mm Weg

5

     

60 mm Weg

 

5

10

 

75 mm Weg

7

     

100 mm Weg

 

7

12

20

150 mm Weg

 

10

12

25

200 mm Weg

     

25

Wiederholbarkeit der Position

Auflösung

FB050

FB075

FB100

FB150

0,1 µm standard

±0,5 µm

±0,5 µm

±0,5 µm

±0,5 µm

10 nm optional

±50 nm

±50 nm

±50 nm

±50 nm

50 nm optional

±200 nm

±200 nm

±200 nm

±200 nm

0,5 µm optional

±2 µm

±2 µm

±2 µm

±2 µm

1,0 µm optional

±3 µm

±3 µm

±3 µm

±3 µm

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