Drehtisch

Tische mit Piezomotor als Antrieb
FB

Ein FB-Tisch-Design enthält einen Piezo-Antrieb, ein Kreuzkugellager und einen optischen Encoder. Mehrere Tische sind zu einem System konfigurierbar:
Verschiedene Verfahrlängen und Tischbreiten können zu XY, XYZ oder anderen Mehrachsanwendungen konfiguriert werden. Für eine rotative Bewegung ist das System mit einem Dreh-Tisch erweiterbar. Ebenso ist die Encoderauflösung und der Motortyp wählbar. Für Vakuumanwendungen ist das Piezo-System entsprechend als Vakuumausführung zu bestellen.

Merkmale

  • kompaktes Tisch-Design mit niedriger Bauhöhe
  • Direktantrieb mit einfacher und robuster Konstruktion
  • für die optimale Positionierung befindet sich der Encoder in der Mitte
  • einfache Konfiguration für mehrere Achsen
  • Auswahlmöglichkeit bei Tischgröße, Verfahrweg und Motorleistung

Tisch-Konfiguration

Artikel

Breite [mm]

Motorauswahl

Verfahrweg (Standard)

FB050

50

HR2 oder HR4

20 mm, 50 mm, 75 mm

FB075

75

HR4 oder HR8

40 mm, 60 mm, 100 mm, 150 mm

FB100

100

HR4 oder HR8

60 mm, 100 mm, 150 mm

FB150

150

HR4 oder HR8

100 mm, 150 mm, 200 mm

Leistungsspezifikation maximale Last

Kenndaten

FB050

FB075

FB100

FB150

Geradheit / Planheit

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

2,5 µm/25 mm Verfahrweg

1,5 µm/25 mm Verfahrweg

20 mm Weg

2 kg

     

40 mm Weg

 

5 kg

   

50 mm Weg

5 kg

     

60 mm Weg

 

5 kg

10 kg

 

75 mm Weg

7 kg

     

100 mm Weg

 

7 kg

12 kg

20 kg

150 mm Weg

 

10 kg

12 kg

25 kg

200 mm Weg

     

25 kg

Wiederholbarkeit der Position

Auflösung

FB050

FB075

FB100

FB150

0,1 µm standard

±0,5 µm

±0,5 µm

±0,5 µm

±0,5 µm

10 nm optional

±50 nm

±50 nm

±50 nm

±50 nm

50 nm optional

±200 nm

±200 nm

±200 nm

±200 nm

0,5 µm optional

±2 µm

±2 µm

±2 µm

±2 µm

1,0 µm optional

±3 µm

±3 µm

±3 µm

±3 µm

Encoder

  • Standardauflösung 0,1 µm
  • Optionale Auflösung: 1 µm, 0,5 µm, 50 nm, 10 nm
  • Optional Endschalter und Home-Schalter (FB050 nur Home)

Verfügbare Montage

  • XY
  • XZ mit Verbindungswinkel
  • XYZ mit Verbindungswinkel
  • Drehtisch
  • Goniometer


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